Для химико-динамического полирования подложек из кремния и германия используют составы травителей на основе азотной, фтористоводородной и уксусной кислот. Принципиально новых составов и растворов для химического травления 51 и Ое практически не появилось.
Для ХДП 51 чаще всего применяют травители на основном НЫОз—НР—СНзСООН с молярным отношением [НЖ)3] : [НР]^ ^3, в которых обеспечивается полирующий режим травления. Со ставы травителей и режимы ХДП для 51 даны в табл. 3.3. Некоторые результаты исследования процесса ХДП 31 в ряде травителей представлены на рис. 3.1, 3.2. Из рисунков видно, что скорость ХДП уменьшается с увеличением содержания НХОз в травителе. Относительное сглаживание неровностей поверхности подложек 51 (отношение высоты неровностей после ХДП к высоте неровностей на исходной поверхности) достаточно велико (больше 95%) и возрастаете увеличением концентрации НЬЮз. Эффективность процесса ХДП (т. е. отношение высоты сглаживаемых неровностей поверхности к толщине удаляемого слоя с подложки) также высока, что является значительным преимуществом данного метода обработки по сравнению, например, с электрохимическим или газовым травлением. Для получения гладкой и совершенной поверхности подложек 51, предварительно обработанных ХЛАП суспензией аэросила в этилендиамине, химическим полированием необходимо снимать слой не менее 15—20 мкм. Применение других составов травителей из указанной системы кислот для целей ХДП 51 нецелесообразно.
Химическое травление поверхности подложек из Ое возможно в более широком диапазоне составов растворов, чем кремния. Однако, несмотря ма большое количество травителей, в которых германий достаточно легко растворяется, выбор полирующих составов травителей для него ограничен (см. табл. 3.3). Это объясняется тем, что германий сравнительно легко окисляется в щелочных растворах, но последующее растворение окисной поверхностной пленки как многочисленными химическими реакциями перехода одной формы окисления германия в другие, так и различной растворимостью его окисных соединений, что и приводит часто к пассивированию поверхности.
Практически химическое полирование пластин германия проводят в традиционной системе кислот НГЮ3—НР—СН3СООН. Полирующими травителями при комнатной температуре являются составы с молярным соотношением [Н1\О3]:[НР]5 [33]. Удовлетворительные результаты дают также перекисно-щелочные растворы.